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      半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀與MM探針臺(tái)/系統(tǒng)集成

      簡(jiǎn)要描述:半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀與MM探針臺(tái)/系統(tǒng)集成支持二極管、三極管、MOS管等半導(dǎo)體器件以及材料的直流電流-電壓(I-V)測(cè)量,準(zhǔn)靜態(tài)和中頻電容-電壓(C-V)測(cè)量,時(shí)域測(cè)量等。

      • 產(chǎn)品型號(hào):
      • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
      • 更新時(shí)間:2023-08-28
      • 訪  問  量:3810

      詳細(xì)介紹

      品牌HUACE/北京華測(cè)

      半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀與MM探針臺(tái)

      功能:

      可提供直流電壓/電流輸出,直流電壓/電流測(cè)量和交流信號(hào)輸出以及阻抗測(cè)量

      主要技術(shù)指標(biāo):

      探針臺(tái):

      1.探針臺(tái)主機(jī):卡盤XY運(yùn)動(dòng)范圍200mm*200mm,Z軸運(yùn)動(dòng)范圍25mm

      2.絲桿軸承確保移動(dòng),分辨率3.5um

      3.針座:精度0.7um

      4.加熱臺(tái): 溫度范圍室溫-400℃


      半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀與MM探針臺(tái)


      半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀

      1.直流I-V測(cè)試:

      具有4路SMU,其中2路中等功率SMU,2路高分辨率SMU, 可同時(shí)測(cè)量電壓分辨率0.5μV、電流分辨率0.1fA

      2.C-V測(cè)試:頻率1KHz-5MHz;偏置電壓:±25V;測(cè)量精度±0.2 %

      3.可實(shí)現(xiàn)C-V和I-V測(cè)量間自動(dòng)切換,不會(huì)影響測(cè)量精度

      4.脈沖IV:

      提供兩路快速IV/脈沖輸出,具有任意波形產(chǎn)生功能

      脈沖寬度:50ns;脈沖電平范圍:-5V~+5V,+/-10V~0V (50 Ω負(fù)載);電壓測(cè)量精度:±0.1%讀值, ±0.1% 量程;電流測(cè)量精度:±0.1% 讀值, ± 0.2% 量程

      主要用途

      支持二極管、三極管、MOS管等半導(dǎo)體器件以及材料的直流電流-電壓(I-V)測(cè)量,準(zhǔn)靜態(tài)和中頻電容-電壓(C-V)測(cè)量,時(shí)域測(cè)量等。

      半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀與MM探針臺(tái)/系統(tǒng)集成

      半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀與MM探針臺(tái)/系統(tǒng)集成


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